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半导体特气检漏仪

半导体特气检漏仪 型号：XP-703D 便携式 特点： ? Z适合于检测半导体特气的微量泄漏。 ? 采用声光报警。

  • 产品型号：XP-703D
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2025-02-20
  • 访  问  量：1221
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产品详情
半导体特气检漏仪特点：
?   于检测半导体特气的微量泄漏。
?   采用声光报警。
 
半导体特气检漏仪规 格
型       号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气
AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
 
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